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失效分析

扫描电镜与能谱分析

扫描电镜与能谱分析

扫描电镜(SEM)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观性貌观扫描电子显微镜察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。扫描电镜的优点是,①有较高的放大倍数,20-20万倍之间连续可调;②有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构;③试样制备简单。 目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置(EDS),这样可以同时进行显微组织性貌的观察和微区成分分析,因此它是当今十分有用的科学研究仪器。

 应用领域:微观形貌观察、半定量成分分析。

 参考标准:GB/T 17359等。



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